Produksi wafer

Minangka teknologi maju, dikarepake kanggowaferterus munggah. Saiki, ukuran utama wafer silikon ing pasar domestik yaiku 100mm, 150mm, lan 200mm. Nambah diameter silikonwaferbisa nyuda biaya Manufaktur saben chip, anjog kanggo akeh dikarepake kanggo wafer silikon 300mm. Nanging, dhiameter sing luwih gedhe uga ngetrapake syarat sing luwih ketat ing paramèter utama, kayata flatness permukaan wafer, kontrol impurity trace, cacat internal, lan isi oksigen. Akibate, manufaktur wafer wis dadi fokus utama riset ing produksi chip.

Sadurunge delving menyang manufaktur wafer, iku penting kanggo ngerti struktur kristal ndasari.

Bentenipun ing organisasi atom internal bahan punika faktor wigati kanggo mbedakake antarane wong-wong mau. Bahan kristal, kayata silikon lan germanium, duwe atom sing disusun ing struktur périodik sing tetep, dene bahan non-kristal, kaya plastik, ora duwe susunan sing teratur iki. Silicon wis muncul minangka bahan utama kanggo wafer amarga struktur unik, sifat kimia sing apik, kelimpahan alam, lan kaluwihan liyane.

Bahan kristal duwe rong tingkat organisasi atom. Tingkat pisanan yaiku struktur atom individu, mbentuk sel unit sing diulang sacara periodik ing saindhenging kristal. Tingkat kapindho nuduhake susunan sakabèhé sel unit kasebut, sing dikenal minangka struktur kisi, ing ngendi atom manggoni posisi tartamtu ing kisi. Jumlah atom ing sel unit, posisi relatif, lan energi ikatan antarane atom nemtokake macem-macem sifat materi. Struktur kristal silikon dikategorikaké minangka struktur berlian, dumadi saka rong set kisi kubik sing dipusatake ing pasuryan sing diimbangi ing sadawane diagonal kanthi seperempat saka dawa diagonal.

Karakteristik périodik lan simetri ing kristal mbutuhake cara sing luwih prasaja kanggo njlèntrèhaké posisi atom tinimbang nggunakake sistem koordinat persegi panjang telung dimensi universal. Kanggo luwih njlèntrèhaké distribusi atom ing kristal adhedhasar periodicity kisi sawijining, kita milih sel unit miturut telung prinsip nuntun. Sèl unit iki kanthi efektif nggambarake périodik lan simetri kristal lan dadi unit pengulangan sing paling cilik. Sawise koordinat atom ing sel unit ditemtokake, kita bisa kanthi gampang nyimpulake posisi relatif partikel ing kabeh kristal. Kanthi netepake sistem koordinat adhedhasar vektor telung pinggiran sel unit, kita bisa nyederhanakake proses njlentrehake struktur kristal kanthi signifikan.

Bidang kristal ditetepake minangka permukaan datar sing dibentuk kanthi susunan atom, ion, utawa molekul ing kristal. Kosok baline, arah kristal nuduhake orientasi tartamtu saka susunan atom kasebut.

Pesawat kristal diwakili nggunakake indeks Miller. Biasane, tanda kurung () nuduhake bidang kristal, kurung kotak [] nuduhake arah kristal, kurung sudut <> nuduhake kulawarga arah kristal, lan kurung kriting {} nuduhake kulawarga bidang kristal. Ing manufaktur semikonduktor, bidang kristal sing paling umum digunakake kanggo wafer silikon yaiku (100), (110), lan (111). Saben bidang kristal nduweni ciri unik, saengga cocok kanggo proses produksi sing beda.

Contone, (100) pesawat kristal umume digunakake ing manufaktur piranti MOS amarga sifat permukaan sing apik, sing nggampangake kontrol voltase ambang. Kajaba iku, wafer karo (100) pesawat kristal luwih gampang ditangani nalika diproses lan nduweni permukaan sing rata, dadi becik kanggo ngasilake sirkuit terpadu skala gedhe. Ing kontras, (111) pesawat kristal, sing nduweni kapadhetan atom sing luwih dhuwur lan biaya pertumbuhan sing luwih murah, asring digunakake ing piranti bipolar. Pesawat kasebut bisa digayuh kanthi ngatur arah kristal kanthi ati-ati sajrone proses pertumbuhan kanthi milih arah kristal wiji sing cocog.

Bidang kristal (100) sejajar karo sumbu Y-Z lan intersects sumbu X ing titik nilai unit 1. Bidang kristal (110) intersects loro sumbu X lan Y, nalika bidang kristal (111) intersects. telung sumbu: X, Y, lan Z.

Ing perspektif struktural, bidang kristal (100) mbentuk wangun persegi, dene bidang kristal (111) njupuk wangun segi telu. Amarga variasi struktur ing antarane pesawat kristal sing beda, cara pecah wafer uga beda. Wafer sing diarahake ing sadawane <100> cenderung pecah dadi bentuk persegi utawa nggawe pecah ing sudut tengen (90°), dene sing orientasi ing sadawane <111> pecah dadi pecahan segitiga.

Amarga sifat kimia, listrik, lan fisik sing unik sing ana gandhengane karo struktur internal kristal, orientasi kristal spesifik saka wafer duwe pengaruh sing signifikan marang kinerja sakabèhé. Akibate, penting kanggo njaga kontrol sing ketat babagan orientasi kristal sajrone proses persiapan.

Semicorex nawakake kualitas dhuwurwafer semikonduktor. Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu hubungi kita.

Kontak telpon # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com