Apa kuarsa digunakake ing semikonduktor?

Ing lapangan manufaktur semikonduktor, langkah-langkah saka wutah kristal silikon kanggo difusi oksidasi, saka etsa kanggo reresik, komponen struktural kuarsa melu kabeh proses. Kanthi pangembangan proses maju, toleransi kanggo kontaminasi dening impurities logam lan partikel dadi saya murah ing saben langkah.

Ingsintesis kuarsanduweni tokoh kayata kemurnian dhuwur, non gelembung, ora partikel Gawan, transmitansi UV dhuwur, etc. Iku ndadekake mboko sithik ngganti bahan kuarsa alam tradisional ing proses Manufaktur majeng, kang Ngartekno bisa nambah ngasilaken lan ngluwihi umur.

01 Etching Ring

Ing bombardment saka plasma (ngemot fluorine Highly reaktif lan klorin-gas basis), bahan mbutuhake inertness kimia dhuwur banget lan resistance karat. Ing wektu sing padha, bahan kuarsa kudu nduweni kemurnian sing dhuwur banget kanggo nyegah kontaminasi partikel saka etsa. Dering etching minangka komponen sing bisa dikonsumsi; saiki, paling peralatan nggunakake quartz alam. Nanging, sawetara proses maju (2nm, 5nm, lan proses liyane ing ngisor 28nm) wis ngganti karo dering etsa kuarsa sintetik amarga kontrol sing ketat marang partikel lan ion logam.

02 Kubah Kuarsa

Jendhela pengamatan berbentuk kubah transparan dipasang ing sisih ndhuwur kamar reaksi ing peralatan etsa lan deposisi film tipis (kayata CVD). Ora mung mbutuhake kemurnian sing dhuwur banget kanggo nyegah impurities saka kontaminasi kamar proses nanging uga mbutuhake sifat optik tartamtu kanggo ngidini sinyal cahya saka sistem deteksi liwat kanggo ngawasi nyata-wektu proses. Kuarsa sintetis, kanthi transmisi sing dhuwur banget lan kemurnian sing dhuwur, akeh digunakake ing DOME (Diffusion Oxidation).

03 Tabung Tungku

Ing tungku oksidasi / difusi suhu dhuwur, dadi wadhah tubular inti sing nyekel wafer lan nindakake reaksi proses. Resistance panas banget dhuwur dibutuhake, mbisakake operasi long-term ing suhu ndhuwur 1200 ° C tanpa softening utawa deformasi. Kuarsa alam, amarga kandungan Al sing dhuwur lan kandungan hidroksil sing kurang, entuk resistensi panas sing dhuwur lan akeh digunakake ing tabung tungku. Nanging, amarga proses maju ngetrapake kontrol sing luwih ketat ing ion najis logam ing kamar, bahan kuarsa sintetik sing tahan panas mboko sithik ngganti tabung tungku kuarsa alami.

04 Reresik Tank

Digunakake kanggo nahan kemurnian dhuwur, solusi reresik banget korosif (kayata SC1, SC2, asam hidrofluorat, asam sulfat, lan sapiturute) kanggo reresik teles saka wafer. Bahan kuarsa duwe resistensi banget kanggo karat asam lan alkali: bisa nolak erosi meh kabeh asam kuat (kajaba asam hidrofluorat lan asam fosfat panas), njamin tangki tetep ora karat kanggo panggunaan jangka panjang. Nanging, kanthi nggunakake sing suwe, ion logam ing tangki kuarsa dibebasake kanthi bertahap, kanthi gampang nyebabake kontaminasi. Kuarsa sintetik kelas PPB kanthi efektif nyuda kontaminasi ion najis logam, lan alam bebas gelembung ndadekake luwih cocok kanggo ngolah permukaan sing lancar lan padhet, nyuda adhesi kontaminasi.

05. UV Curing Window

Dipasang ing peralatan ngobati UV, dadi jendhela kanggo ngirim cahya UV. Ing antarane kabeh bahan optik, kuarsa sintetik nduweni transmisi paling dhuwur ing pita ultraviolet (DUV) nganti ultraviolet (UV) (nganti 185nm). Kekuwatan lan resistensi radiasi sing dhuwur uga mesthekake yen kinerjae ora ngrusak utawa discolor ing iradiasi UV sing dawa.

06. Canggih Packaging Carrier

Ing proses pengemasan lanjut (kayata Fan-Out, 2.5D/3D IC), wafer pembawa kuarsa sintetik bisa digunakake minangka piring pembawa kanggo sementara ndhukung, mbenakake, transportasi, lan ngolah wafer ultra-tipis utawa wafer rekonstruksi. Bahan kuarsa sintetis bisa diproses kanggo entuk flatness lan rigidity sing apik, nyedhiyakake dhukungan sing kuat kanggo chip ultra-tipis lan njamin akurasi proses.

Semicorex nyedhiyakake kualitas dhuwurkomponen quartz selaraskanggo pangolahan beda. Kanggo solusi khusus utawa informasi teknis tambahan, hubungi tim teknik kita.

Telpon: +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com